二手 ULVAC EI-5 #293648862 待售

ULVAC EI-5溅射设备是一种高性能沉积系统，设计用于生产薄膜和金属氧化物层。适用于精密薄膜沉积、防护涂层、粘合层、金属氧化物涂层和半导体材料薄膜分层等多种应用。EI-5的核心利用紧凑的ULVAC电子束直流溅射技术，利用平面磁控管与聚光电子束耦合产生高均匀薄膜。其4轴机械手提供电子束的精确控制和方向，从而在大面积上形成均匀和可重复的薄膜沉积。该单元还配备了腔室侧倾特性（Chamber Roll-Tilting Feature，简称CRT），以消除由于基板倒置而造成的工艺不均匀。ULVAC EI-5能够以最精确的方式生产各种厚度和速率的薄膜。它具有很高的过程重复性，可以在垂直或水平配置中操作。板载光栅扫描的扫描速度高达5毫米/秒。该机还具有自动脱电离和清洁功能，可防止污染，并允许在操作过程中快速高效地更换基板。EI-5溅射工具与许多ULVAC附件兼容,例如真空等离子体清洁器、源、目标和口罩。它还配备了一个集成资产控制器，可以方便准确地进行流程管理，以及一个数字视觉界面，便于调整参数、配方和历史记录。总体而言,ULVAC EI-5提供了高效和先进的溅射模型,非常适合生产高质量的层和结构,并具有精确和可重复性。紧凑的尺寸和灵活性使其成为各种薄膜沉积应用的理想解决方桉。